中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩,广州公司PECVD 等微观加工设备研发制造,中微总部整体规划总投资 30 亿元 。华南测试 、及生
产基集研发 、地期投资约 10 亿元,封顶近日 ,广州公司基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、
每日精选 · 深度阅读2026-10-27 17:49:04
中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩,广州公司PECVD 等微观加工设备研发制造,中微总部整体规划总投资 30 亿元 。华南测试 、及生
产基集研发 、地期投资约 10 亿元,封顶近日 ,广州公司基地投产后将重点布局大平板显示等离子体刻蚀、